Reinräume werden nach der Anzahl der Partikel in der Luft klassifiziert. Grosse Zahlen wie „class 100“ oder „class 1000“ beziehen sich auf den US Standard FED-STD-209E, und zeigen die Anzahl von Partikeln der Grösse 0.5 µm oder grösser per cubic foot Luft. Der Standard erlaubt auch die Erweiterung z.B „class 2000“.
Kleine Zahlen beziehen sich auf ISO 14644-1 Standard, der auf logarithmischem Weg die Anzahl der Partikel von 0.1 µm oder grösser per Kubikmeter Luft mist. Z. B. ein ISO Klasse 5 Reinraum kann 105 = 100,000 Partikel per m³ haben.
Beide, FS 209E und ISO 14644-1gehen von einem log-log Verhältnis zwischen Partikelgrösse und Partikelkonzentration aus. Aus diesem Grund gibt es auch kein „Null“ Konzentration von Partikeln.
1 m³ ist ca 35 ft³, die 2 Standards sind sich sehr ähnlich bei der Messung mit 0.5 µm Partikel, auch wenn der Standard differiert. Die normale Raumluft ist ca Klasse 1.000.000 – oder ISO 9
Class | maximum particles/ft³ | |||||
FS | ISO | ≥0.1 µm | ≥0.2 µm | ≥0.3 µm | ≥0.5 µm | ≥5 µm |
1 | ISO 3 | 35 | 7 | 3 | 1 | |
10 | ISO 4 | 350 | 75 | 30 | 10 | |
100 | ISO 5 | 750 | 300 | 100 | ||
1 000 | ISO 6 | 1 000 | 7 | |||
10 000 | ISO 7 | 10 000 | 70 | |||
100 000 | ISO 8 | 100 000 | 700 |
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